山東汽車?yán)锍瘫韨鞲衅?/strong>電子系統(tǒng)向著采用Mems傳感器的方向發(fā)展。Philips Electronics公司和Continental Treves公司10年銷售1億只用于汽車ABS系統(tǒng)的傳感器芯片，生產(chǎn)上達(dá)到了一個(gè)新的里程碑。兩個(gè)公司共同開發(fā)有源磁場傳感器的前瞻性技術(shù)，產(chǎn)品應(yīng)用在汽車廠家生產(chǎn)的最新的轎車上。Continental Teves公司用這種磁阻式轉(zhuǎn)速傳感器制作了輪速傳感器，用于ABS系統(tǒng)，防滑系統(tǒng)等。Mems傳感器成本低、可靠性好、尺寸小，可以集成在新的系統(tǒng)中，工作時(shí)間達(dá)到幾百萬個(gè)小時(shí)。Mems器件最早的是絕壓傳感器（Map）和氣囊加速度傳感器。正在研發(fā)和小批量生產(chǎn)的MEMS/MST產(chǎn)品有：輪速旋轉(zhuǎn)傳感器，胎壓傳感器，制冷壓力傳感器，發(fā)動(dòng)機(jī)油壓傳感器，剎車壓力傳感器和偏離速率傳感器等等。在今后的5-7年Mems器件將大量應(yīng)用到汽車系統(tǒng)中。
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